用于纳米压印光刻系统的三自由度微定位工作台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010300349.9

申请日：

2010-01-15

公开(公告)号：

CN101776851B

公开(公告)日：

2010-07-14

发明(设计)人：

田延岭贾晓辉张大卫

申请人：

申请人地址：

300072 天津市南开区92号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201

代理人：

王丽英

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-20	授权	授权
2010-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005741384 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2010103003499 申请日:20100115
2013-03-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101416718249 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2010103003499 申请日:20100115 授权公告日:20110720 终止日期:20120115
2010-07-14	公开	公开

共 50 条

[1]

三自由度柔性精密定位工作台 [P].

田延岭 ;

贾晓辉 ;

张大卫 .

中国专利 :CN101770182B ,2010-07-07

[2]

用于纳米压印光刻系统的六自由度精密定位工作台 [P].

田延岭 ;

贾晓辉 ;

张大卫 .

中国专利 :CN101726997B ,2010-06-09

[3]

二自由度柔性微定位工作台 [P].

田延岭 ;

贾晓辉 ;

张大卫 .

中国专利 :CN101738855B ,2010-06-16

[4]

一种用于纳米压印光刻系统的两平动精密定位工作台 [P].

田延岭 ;

贾晓辉 ;

张大卫 .

中国专利 :CN101770166A ,2010-07-07

[5]

二自由度精密定位工作台 [P].

田延岭 ;

贾晓辉 ;

张大卫 .

中国专利 :CN101750885A ,2010-06-23

[6]

三自由度纳米级微定位工作台 [P].

张大卫 ;

田延岭 ;

阎兵 ;

董科 .

中国专利 :CN1597249A ,2005-03-23

[7]

三自由度纳米级微定位工作台 [P].

张大卫 ;

田延岭 ;

闫兵 ;

董科 .

中国专利 :CN2707426Y ,2005-07-06

[8]

一种三自由度微定位工作台 [P].

杨晓京 ;

李尧 .

中国专利 :CN105006255A ,2015-10-28

[9]

一种三自由度微定位工作台 [P].

杨晓京 ;

李尧 .

中国专利 :CN204966059U ,2016-01-13

[10]

三自由度精密定位工作台 [P].

张建瓴 ;

陈万银 ;

可欣荣 ;

洪添胜 ;

张铁民 .

中国专利 :CN201168876Y ,2008-12-24

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