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运动机构的检测装置及检测方法、光刻设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010478507.3
申请日：
2020-05-29
公开(公告)号：
CN113739840B
公开(公告)日：
2021-12-03
发明(设计)人：
周美君
郝凤龙
王建宾
张阔峰
程建
汤世炎
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
IPC主分类号：
G01D2102
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
孟金喆
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 21/02 申请日:20200529 |
| 2022-10-04 | 授权 | 授权 |
| 2021-12-03 | 公开 | 公开 |