检测装置及光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010182521.9

申请日：

2020-03-16

公开(公告)号：

CN113406086A

公开(公告)日：

2021-09-17

发明(设计)人：

韩雪山申永强

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G01N21956 G03F184 G03F720 H01L2166

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20200316
2021-09-17	公开	公开

共 50 条

[1]

位置检测装置、位置检测方法及光刻设备 [P].

郑哲 .

中国专利 :CN118567188A ,2024-08-30

[2]

运动台动态性能检测装置、检测方法及光刻设备 [P].

郑哲 .

中国专利 :CN119439632A ,2025-02-14

[3]

运动机构的检测装置及检测方法、光刻设备 [P].

周美君 ;

郝凤龙 ;

王建宾 ;

张阔峰 ;

程建 ;

汤世炎 .

中国专利 :CN113739840B ,2021-12-03

[4]

光刻设备及光刻设备的瞳面透过率的检测方法 [P].

田毅强 ;

孙文凤 .

中国专利 :CN112147851B ,2020-12-29

[5]

用于光刻设备的调焦调平检测装置及方法 [P].

唐平玉 ;

陈飞彪 ;

徐荣伟 ;

刁雷 .

中国专利 :CN104375383B ,2015-02-25

[6]

偏振像差检测装置、物镜测试台及光刻设备 [P].

郁毅敏 ;

李强 .

中国专利 :CN111176075A ,2020-05-19

[7]

一种偏振光检测装置及光刻设备 [P].

耿大卫 ;

董佳 ;

余洋 ;

吴晨瑄 .

中国专利 :CN223728129U ,2025-12-26

[8]

一种掩模版检测装置、光刻设备及掩模版检测方法 [P].

杜艳伟 ;

陆海亮 ;

邓帅飞 ;

王婷婷 ;

宋春峰 .

中国专利 :CN112697794A ,2021-04-23

[9]

防撞装置及光刻设备 [P].

赵康梅 ;

郑清泉 ;

丛国栋 ;

杨存攀 .

中国专利 :CN114690582B ,2025-04-04

[10]

承载装置及光刻设备 [P].

苏柳元 ;

丛国栋 .

中国专利 :CN114690583B ,2025-10-10

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