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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-07-21 | 公开 | 公开 |
| 2021-01-01 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/8238 申请日:20090119 授权公告日:20120307 终止日期:20200119 |
| 2010-09-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005819089 IPC(主分类):H01L 21/8238 专利申请号:2009100459740 申请日:20090119 |
| 2012-03-07 | 授权 | 授权 |