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一种化学气相沉积反应器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821757071.6
申请日：
2018-10-29
公开(公告)号：
CN208933470U
公开(公告)日：
2019-06-04
发明(设计)人：
方明喜
肖学才
常强
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山开发区前进路南侧
IPC主分类号：
C23C1644
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-04 | 授权 | 授权 |