化学气相沉积反应器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880106034.1

申请日：

2008-10-09

公开(公告)号：

CN101802254B

公开(公告)日：

2010-08-11

发明(设计)人：

迈克尔·J·贝卡尼弗兰克·J·卡姆帕纳勒

申请人：

申请人地址：

美国新泽西州

IPC主分类号：

C23C1600

IPC分类号：

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204

代理人：

王达佐;阴亮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101025283542 IPC(主分类):C23C 16/00 专利申请号:2008801060341 申请日:20081009
2010-08-11	公开	公开
2013-11-27	授权	授权
2013-03-20	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101534004282 IPC(主分类):C23C 16/00 专利申请号:2008801060341 变更事项:申请人变更前:瓦伦斯处理设备公司变更后:瓦伦斯处理设备公司变更事项:地址变更前:美国宾夕法尼亚州变更后:美国新泽西州
2018-10-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/00 申请日:20081009 授权公告日:20131127 终止日期:20171009

共 50 条

[1]

化学气相沉积反应器 [P].

G.K.斯特劳赫 ;

D.布里恩 ;

M.道尔斯伯格 .

中国专利 :CN102612571A ,2012-07-25

[2]

化学气相沉积反应器 [P].

李森田 ;

优瑞·吉欧吉维奇·史瑞特 ;

优瑞·图马索维奇·瑞朋 ;

罗斯南·伊凡诺维奇·葛布诺夫 .

中国专利 :CN1854336A ,2006-11-01

[3]

化学气相沉积反应器 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN101036215A ,2007-09-12

[4]

反应器、化学气相沉积反应器以及有机金属化学气相沉积反应器 [P].

陈卫国 ;

陈京玉 .

中国专利 :CN102154624A ,2011-08-17

[5]

化学气相沉积（CVD）反应器 [P].

J·温特 .

澳大利亚专利 :CN121002217A ,2025-11-21

[6]

一种化学气相沉积反应器 [P].

于伟华 ;

田新 ;

张春伟 ;

江扣龙 ;

王彬 .

中国专利 :CN106191808A ,2016-12-07

[7]

一种化学气相沉积反应器 [P].

胡晓炜 ;

蒋宗法 ;

胡晓阳 .

中国专利 :CN210438836U ,2020-05-01

[8]

喷嘴设备和化学气相沉积反应器 [P].

M·雷克 .

中国专利 :CN202671651U ,2013-01-16

[9]

高效外延化学气相沉积（CVD）反应器 [P].

乔治·卡米安 .

中国专利 :CN102427971B ,2012-04-25

[10]

一种化学气相沉积反应器 [P].

方明喜 ;

肖学才 ;

常强 .

中国专利 :CN208933470U ,2019-06-04

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