喷嘴设备和化学气相沉积反应器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120579984.5

申请日：

2011-12-23

公开(公告)号：

CN202671651U

公开(公告)日：

2013-01-16

发明(设计)人：

M·雷克

申请人：

申请人地址：

德国布劳博伊伦

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1624

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

朱立鸣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-16	授权	授权
2016-02-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101645506736 IPC(主分类):C23C 16/455 专利号:ZL2011205799845 申请日:20111223 授权公告日:20130116 终止日期:20141223

共 50 条

[1]

喷嘴设备和化学气相沉积反应器 [P].

M·雷克 .

中国专利 :CN102618850A ,2012-08-01

[2]

化学气相沉积反应器 [P].

G.K.斯特劳赫 ;

D.布里恩 ;

M.道尔斯伯格 .

中国专利 :CN102612571A ,2012-07-25

[3]

化学气相沉积反应器 [P].

李森田 ;

优瑞·吉欧吉维奇·史瑞特 ;

优瑞·图马索维奇·瑞朋 ;

罗斯南·伊凡诺维奇·葛布诺夫 .

中国专利 :CN1854336A ,2006-11-01

[4]

化学气相沉积反应器 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN101036215A ,2007-09-12

[5]

化学气相沉积反应器 [P].

迈克尔·J·贝卡尼 ;

弗兰克·J·卡姆帕纳勒 .

中国专利 :CN101802254B ,2010-08-11

[6]

反应器、化学气相沉积反应器以及有机金属化学气相沉积反应器 [P].

陈卫国 ;

陈京玉 .

中国专利 :CN102154624A ,2011-08-17

[7]

一种化学气相沉积反应器 [P].

胡晓炜 ;

蒋宗法 ;

胡晓阳 .

中国专利 :CN210438836U ,2020-05-01

[8]

一种化学气相沉积反应器 [P].

方明喜 ;

肖学才 ;

常强 .

中国专利 :CN208933470U ,2019-06-04

[9]

一种化学气相沉积反应器 [P].

于伟华 ;

田新 ;

张春伟 ;

江扣龙 ;

王彬 .

中国专利 :CN206015085U ,2017-03-15

[10]

用于化学气相沉积反应器的方法和设备 [P].

何甘 ;

雷格·东克 ;

凯思德·索拉布吉 ;

罗杰·哈曼吉 ;

安德瑞斯·海吉杜斯 ;

美利莎·艾契尔 ;

哈利·艾华特 ;

斯图尔特·索南费尔特 .

中国专利 :CN102084460A ,2011-06-01

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