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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-03 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):C23C 18/42 变更事项:发明人 变更前:许国军 卢意鹏 吴运会 许香林 刘高飞 变更后:卢意鹏 许国军 吴运会 许香林 刘高飞 |
| 2019-09-17 | 公开 | 公开 |
| 2019-10-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 18/42 申请日:20190726 |
| 2021-10-08 | 授权 | 授权 |