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炉管装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201920961546.1
申请日
:
2019-06-24
公开(公告)号
:
CN209981182U
公开(公告)日
:
2020-01-21
发明(设计)人
:
李天涯
陈伯廷
吴宗祐
林宗贤
申请人
:
申请人地址
:
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号
:
H01L2167
IPC分类号
:
H01L21324
代理机构
:
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人
:
孙佳胤;陈丽丽
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-01-21
授权
授权
共 50 条
[1]
炉管清洗装置
[P].
庄忠尔
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庄忠尔
;
元文帅
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元文帅
.
中国专利
:CN200988041Y
,2007-12-12
[2]
晶舟及炉管装置
[P].
邢国兵
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邢国兵
;
方桂芹
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方桂芹
;
黄仁德
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黄仁德
.
中国专利
:CN208315519U
,2019-01-01
[3]
炉管内温度监测装置
[P].
朱焱均
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机构:
乂易半导体科技(无锡)有限公司
乂易半导体科技(无锡)有限公司
朱焱均
;
王尧林
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机构:
乂易半导体科技(无锡)有限公司
乂易半导体科技(无锡)有限公司
王尧林
;
李涛
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乂易半导体科技(无锡)有限公司
乂易半导体科技(无锡)有限公司
李涛
;
燕强
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机构:
乂易半导体科技(无锡)有限公司
乂易半导体科技(无锡)有限公司
燕强
;
刘康华
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机构:
乂易半导体科技(无锡)有限公司
乂易半导体科技(无锡)有限公司
刘康华
.
中国专利
:CN222865621U
,2025-05-13
[4]
保护罩、炉管底座及炉管设备
[P].
魏健
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芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
魏健
;
金嵩浩
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机构:
芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
金嵩浩
;
戚振海
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机构:
芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
戚振海
.
中国专利
:CN223216677U
,2025-08-12
[5]
一种立式炉管装置
[P].
雷奇奇
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雷奇奇
;
乔磊
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乔磊
;
聂广宇
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聂广宇
.
中国专利
:CN206003746U
,2017-03-08
[6]
晶舟基座及炉管装置
[P].
陈城
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陈城
;
周冬成
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周冬成
;
吴宗祐
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吴宗祐
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN208674076U
,2019-03-29
[7]
薄膜沉积方法及炉管装置
[P].
陈伯廷
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陈伯廷
;
吴宗祐
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吴宗祐
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN109023309A
,2018-12-18
[8]
温控固定装置及炉管设备
[P].
韩刚
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机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
韩刚
.
中国专利
:CN222761420U
,2025-04-15
[9]
立式炉管装置
[P].
王文娟
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机构:
上海华力微电子有限公司
上海华力微电子有限公司
王文娟
.
中国专利
:CN222182428U
,2024-12-17
[10]
喷嘴固定装置及炉管
[P].
魏健
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机构:
芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
魏健
;
金嵩浩
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机构:
芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
金嵩浩
;
戚振海
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机构:
芯联集成电路制造股份有限公司
芯联集成电路制造股份有限公司
戚振海
.
中国专利
:CN117976579A
,2024-05-03
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