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一种立式炉管装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201620855064.4
申请日
:
2016-08-09
公开(公告)号
:
CN206003746U
公开(公告)日
:
2017-03-08
发明(设计)人
:
雷奇奇
乔磊
聂广宇
申请人
:
申请人地址
:
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
IPC主分类号
:
H01L2167
IPC分类号
:
代理机构
:
上海申新律师事务所 31272
代理人
:
俞涤炯
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2017-03-08
授权
授权
共 50 条
[1]
炉管装置
[P].
李天涯
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李天涯
;
陈伯廷
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陈伯廷
;
吴宗祐
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吴宗祐
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN209981182U
,2020-01-21
[2]
立式炉管装置
[P].
王文娟
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0
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机构:
上海华力微电子有限公司
上海华力微电子有限公司
王文娟
.
中国专利
:CN222182428U
,2024-12-17
[3]
一种立式炉管
[P].
耿耀庭
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耿耀庭
.
中国专利
:CN207163222U
,2018-03-30
[4]
炉管清洗装置
[P].
庄忠尔
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庄忠尔
;
元文帅
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元文帅
.
中国专利
:CN200988041Y
,2007-12-12
[5]
立式扩散炉管装置
[P].
王永超
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机构:
厦门东微电子装备有限公司
厦门东微电子装备有限公司
王永超
;
赵泽良
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机构:
厦门东微电子装备有限公司
厦门东微电子装备有限公司
赵泽良
;
蔡勇
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机构:
厦门东微电子装备有限公司
厦门东微电子装备有限公司
蔡勇
.
中国专利
:CN121087622A
,2025-12-09
[6]
一种立式扩散炉炉管
[P].
蔡宗捷
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机构:
潍坊芯微电子设备有限公司
潍坊芯微电子设备有限公司
蔡宗捷
;
朱滨泉
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潍坊芯微电子设备有限公司
潍坊芯微电子设备有限公司
朱滨泉
;
苏新巍
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潍坊芯微电子设备有限公司
潍坊芯微电子设备有限公司
苏新巍
.
中国专利
:CN222069228U
,2024-11-26
[7]
晶舟及炉管装置
[P].
邢国兵
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邢国兵
;
方桂芹
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方桂芹
;
黄仁德
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黄仁德
.
中国专利
:CN208315519U
,2019-01-01
[8]
炉管内温度监测装置
[P].
朱焱均
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乂易半导体科技(无锡)有限公司
乂易半导体科技(无锡)有限公司
朱焱均
;
王尧林
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乂易半导体科技(无锡)有限公司
乂易半导体科技(无锡)有限公司
王尧林
;
李涛
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乂易半导体科技(无锡)有限公司
乂易半导体科技(无锡)有限公司
李涛
;
燕强
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乂易半导体科技(无锡)有限公司
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燕强
;
刘康华
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机构:
乂易半导体科技(无锡)有限公司
乂易半导体科技(无锡)有限公司
刘康华
.
中国专利
:CN222865621U
,2025-05-13
[9]
一种新型扩散炉管
[P].
郭城
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郭城
;
吕明
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吕明
;
王永超
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王永超
;
郭英云
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郭英云
.
中国专利
:CN208271835U
,2018-12-21
[10]
晶舟基座及炉管装置
[P].
陈城
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陈城
;
周冬成
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周冬成
;
吴宗祐
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吴宗祐
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN208674076U
,2019-03-29
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