预热环及外延生长设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202023138293.X
申请日
2020-12-23
公开(公告)号
CN214655363U
公开(公告)日
2021-11-09
发明(设计)人
崔贤斌 金柱炫
申请人
申请人地址
710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
IPC主分类号
C30B2510
IPC分类号
C30B2906 C23C1646 C23C1624
代理机构
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人
许静;张博
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
用于外延生长设备的预热环及外延生长设备 [P]. 
夏振军 ;
孙伟 .
中国专利 :CN211879338U ,2020-11-06
[2]
预热环及晶圆外延生长设备 [P]. 
徐晓川 ;
金柱炫 ;
王力 .
中国专利 :CN112768384B ,2024-02-27
[3]
预热环及晶圆外延生长设备 [P]. 
徐晓川 ;
金柱炫 ;
王力 .
中国专利 :CN112768384A ,2021-05-07
[4]
预热环及晶圆外延生长设备 [P]. 
俎世琦 .
中国专利 :CN115584553A ,2023-01-10
[5]
用于外延生长设备的预热环以及外延生长设备 [P]. 
邓晓军 .
中国专利 :CN111599716A ,2020-08-28
[6]
用于外延生长设备的预热环以及外延生长设备 [P]. 
邓晓军 .
中国专利 :CN111599716B ,2024-06-21
[7]
预热环、晶圆外延生长设备、外延生长方法及外延硅晶圆 [P]. 
梁鹏欢 .
中国专利 :CN120210953A ,2025-06-27
[8]
外延生长基座及具有其的外延生长设备 [P]. 
张礼鑫 ;
李青海 ;
权爱春 ;
张峻纲 ;
滕杨 ;
王雪伶 ;
谢鑫磊 ;
王敏 .
中国专利 :CN223033507U ,2025-06-27
[9]
预热环及外延设备 [P]. 
雷梓辰 ;
黄支岷 ;
周立超 .
中国专利 :CN220433074U ,2024-02-02
[10]
外延生长设备及外延生长方法 [P]. 
胡彬 ;
王朋 ;
段焕涛 ;
李文 .
中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11