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预热环及晶圆外延生长设备
被引：0
申请号：
CN202211379676.7
申请日：
2022-11-04
公开(公告)号：
CN115584553A
公开(公告)日：
2023-01-10
发明(设计)人：
俎世琦
申请人：
申请人地址：
710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号：
C30B2510
IPC分类号：
C30B2514
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
张博
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/10 申请日:20221104 |
| 2023-01-10 | 公开 | 公开 |