一种硅片制绒清洗药液液位智能调节装置

被引：0

申请号：

CN202220949578.1

申请日：

2022-04-24

公开(公告)号：

CN217378104U

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

李响秦静超胡燕京葛照峰

申请人：

申请人地址：

223802 江苏省宿迁市宿迁经济技术开发区上海路1299号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

C30B2906 H01L3118 B01D2901

代理机构：

无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569

代理人：

陈勤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗制绒装置 [P].

江水德 .

中国专利 :CN211980581U ,2020-11-20

[2]

一种硅片清洗制绒装置 [P].

韩林之 .

中国专利 :CN206480632U ,2017-09-08

[3]

制绒后硅片清洗检测装置 [P].

胡琴 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN207781552U ,2018-08-28

[4]

一种具有药液液位监察装置的制绒槽 [P].

陈桂栋 ;

华飞 .

中国专利 :CN201877455U ,2011-06-22

[5]

一种硅片制绒预清洗装置 [P].

林琼舞 ;

赵文闯 ;

程绍学 .

中国专利 :CN221805453U ,2024-10-01

[6]

一种硅片制绒加排液装置 [P].

吴路军 .

中国专利 :CN206236657U ,2017-06-09

[7]

一种硅片清洗制绒槽 [P].

卢君 ;

马嫣明 .

中国专利 :CN203277334U ,2013-11-06

[8]

一种硅片制绒药液的激活管 [P].

赵春庆 ;

蒋剑波 ;

莫毓东 ;

陆佳佳 .

中国专利 :CN202217696U ,2012-05-09

[9]

一种用于硅片制绒清洗的装置 [P].

王健伟 ;

范慧斌 ;

蔡涔 .

中国专利 :CN208570642U ,2019-03-01

[10]

一种硅片清洗制绒的花篮 [P].

花登根 ;

李子恒 .

中国专利 :CN222927442U ,2025-05-30

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