一种硅片清洗制绒装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621472072.7

申请日：

2016-12-30

公开(公告)号：

CN206480632U

公开(公告)日：

2017-09-08

发明(设计)人：

韩林之

申请人：

申请人地址：

江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号

IPC主分类号：

H01L310236

IPC分类号：

H01L3118 H01L2167 H01L2102

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司 32102

代理人：

陈忠辉

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-30	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/0236 变更事项:专利权人变更前:中建材浚鑫科技股份有限公司变更后:中建材浚鑫科技有限公司变更事项:地址变更前:江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号变更后:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
2017-09-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗制绒装置及其方法 [P].

韩林之 .

中国专利 :CN106784062A ,2017-05-31

[2]

一种硅片清洗制绒装置 [P].

江水德 .

中国专利 :CN211980581U ,2020-11-20

[3]

制绒后硅片清洗检测装置 [P].

胡琴 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN207781552U ,2018-08-28

[4]

一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置 [P].

陈潇锋 ;

李先帅 ;

许彦磊 ;

邵帅 .

中国专利 :CN221472817U ,2024-08-06

[5]

一种硅片制绒装置 [P].

崔水炜 ;

万肇勇 ;

黄登强 ;

吴章平 .

中国专利 :CN208862003U ,2019-05-14

[6]

一种硅片制绒预清洗装置 [P].

林琼舞 ;

赵文闯 ;

程绍学 .

中国专利 :CN221805453U ,2024-10-01

[7]

一种硅片清洗制绒槽 [P].

卢君 ;

马嫣明 .

中国专利 :CN203277334U ,2013-11-06

[8]

一种硅片酸制绒绒面残留物清洗装置 [P].

赵刚 ;

葛亮 .

中国专利 :CN217251176U ,2022-08-23

[9]

硅片制绒方法与硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN112909121B ,2021-06-04

[10]

一种用于硅片制绒清洗的装置 [P].

王健伟 ;

范慧斌 ;

蔡涔 .

中国专利 :CN208570642U ,2019-03-01

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