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一种硅片清洗制绒槽
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201320194893.9
申请日：
2013-04-17
公开(公告)号：
CN203277334U
公开(公告)日：
2013-11-06
发明(设计)人：
卢君
马嫣明
申请人：
申请人地址：
214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇周北工业集中区通港中路
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247
代理人：
杨新勇
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-05-04 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20130417 授权公告日:20131106 终止日期:20170417 |
| 2013-11-06 | 授权 | 授权 |