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一种高精密半导体生产设备基座
被引：0
申请号：
CN202221991205.7
申请日：
2022-07-31
公开(公告)号：
CN217955811U
公开(公告)日：
2022-12-02
发明(设计)人：
祁成江
郑念友
张晓虎
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇木胥西路26号2号楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405
代理人：
戴丽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-02 | 授权 | 授权 |