IPC分类号:
C23C1434
C23C1458
法律状态
| 1992-12-09 |
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
| 专利权的终止未缴纳年费专利权终止 |
| 1990-01-31 |
授权
| 授权 |
| 1989-05-03 |
公开
| 公开 |
共 50 条
[21]
金属膜的沉积
[P].
中国专利 :CN115003854A ,2022-09-02 [22]
金属膜的沉积
[P].
中国专利 :CN110024079A ,2019-07-16 [23]
金属膜的沉积
[P].
中国专利 :CN113366144A ,2021-09-07 [24]
金属膜的沉积
[P].
尹炳勋
论文数: 0 引用数: 0
h-index: 0
机构:
应用材料公司
应用材料公司
尹炳勋
;
雷伟
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
雷伟
;
柳尚澔
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
柳尚澔
.
美国专利 :CN115003854B ,2024-07-23 [25]
金属制品的制造
[P].
中国专利 :CN104507601A ,2015-04-08 [29]
载金属膜
[P].
中国专利 :CN100453154C ,2003-10-29 [30]
金属膜沉积
[P].
中国专利 :CN112105758A ,2020-12-18