金属膜的沉积

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080011300.3

申请日：

2020-01-27

公开(公告)号：

CN113366144A

公开(公告)日：

2021-09-07

发明(设计)人：

约瑟亚·科林斯格里芬·约翰·肯尼迪汉娜·班诺克尔帕特里克·范克利蒙布特塞沙萨耶·瓦拉达拉简

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1634 H01L2102 C23C1656 C23C1630

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;张静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-07	公开	公开
2021-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20200127

共 50 条

[1]

金属膜的沉积 [P].

尹炳勋 ;

雷伟 ;

柳尚澔 .

中国专利 :CN115003854A ,2022-09-02

[2]

金属膜的沉积 [P].

尹炳勋 ;

雷伟 ;

柳尚澔 .

美国专利 :CN115003854B ,2024-07-23

[3]

金属膜的沉积 [P].

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

仓富敬 ;

海克·林 ;

伊诚·陈 ;

张镁 .

中国专利 :CN110024079A ,2019-07-16

[4]

金属膜沉积 [P].

雷雨 ;

李相协 ;

克里斯·帕贝里可 ;

徐翼 ;

河泰泓 ;

唐先民 ;

朴金河 .

中国专利 :CN112105758A ,2020-12-18

[5]

用于沉积贫氧金属膜的方法 [P].

C·舒伯特 ;

E-X·平 ;

Y·森扎齐 .

中国专利 :CN104471689A ,2015-03-25

[6]

纯金属膜的沉积 [P].

施卢蒂·维维克·托姆贝尔 ;

戈鲁恩·布泰尔 ;

帕特里克·A·范克利蒙布特 ;

伊拉尼特·费希尔 .

中国专利 :CN112513323A ,2021-03-16

[7]

含金属膜的沉积 [P].

大卫·约瑟夫·曼迪亚 ;

道格拉斯·沃尔特·阿格纽 ;

乔尔·大卫·史密斯 ;

马修·伯特伦·爱德华·格里菲思 ;

纳撒尼尔·埃尔巴·里奇 ;

亚历山大·雷·福克斯 ;

基莱·乔丹·布莱克内 ;

丹尼斯·M·豪斯曼 ;

罗郑硕 ;

照健·史蒂文·黎 ;

希瓦南达·克里希南·卡纳卡萨巴保蒂 .

美国专利 :CN120344714A ,2025-07-18

[8]

金属膜的催化沉积 [P].

柳尚澔 ;

赛沙德利·甘古利 ;

尹炳勋 ;

陈伟民 .

美国专利 :CN112335021B ,2025-01-28

[9]

金属膜的催化沉积 [P].

柳尚澔 ;

赛沙德利·甘古利 ;

尹炳勋 ;

陈伟民 .

中国专利 :CN112335021A ,2021-02-05

[10]

用于N金属膜沉积的方法、系统和设备 [P].

W·李 ;

S·王 ;

M·萨米耶 ;

B·坎南 .

:CN120700470A ,2025-09-26

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