金属膜的催化沉积

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980042226.9

申请日：

2019-06-21

公开(公告)号：

CN112335021B

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

柳尚澔赛沙德利·甘古利尹炳勋陈伟民

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/28

IPC分类号：

H01L21/285 H01L21/02 C23C16/44 H01L21/324

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-28	授权	授权

共 50 条

[1]

金属膜的催化沉积 [P].

柳尚澔 ;

赛沙德利·甘古利 ;

尹炳勋 ;

陈伟民 .

中国专利 :CN112335021A ,2021-02-05

[2]

金属膜的沉积 [P].

尹炳勋 ;

雷伟 ;

柳尚澔 .

中国专利 :CN115003854A ,2022-09-02

[3]

金属膜的沉积 [P].

尹炳勋 ;

雷伟 ;

柳尚澔 .

美国专利 :CN115003854B ,2024-07-23

[4]

金属膜的沉积 [P].

约瑟亚·科林斯 ;

格里芬·约翰·肯尼迪 ;

汉娜·班诺克尔 ;

帕特里克·范克利蒙布特 ;

塞沙萨耶·瓦拉达拉简 .

中国专利 :CN113366144A ,2021-09-07

[5]

金属膜的沉积 [P].

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

仓富敬 ;

海克·林 ;

伊诚·陈 ;

张镁 .

中国专利 :CN110024079A ,2019-07-16

[6]

金属膜沉积 [P].

雷雨 ;

李相协 ;

克里斯·帕贝里可 ;

徐翼 ;

河泰泓 ;

唐先民 ;

朴金河 .

中国专利 :CN112105758A ,2020-12-18

[7]

纯金属膜的沉积 [P].

施卢蒂·维维克·托姆贝尔 ;

戈鲁恩·布泰尔 ;

帕特里克·A·范克利蒙布特 ;

伊拉尼特·费希尔 .

中国专利 :CN112513323A ,2021-03-16

[8]

含金属膜的沉积 [P].

大卫·约瑟夫·曼迪亚 ;

道格拉斯·沃尔特·阿格纽 ;

乔尔·大卫·史密斯 ;

马修·伯特伦·爱德华·格里菲思 ;

纳撒尼尔·埃尔巴·里奇 ;

亚历山大·雷·福克斯 ;

基莱·乔丹·布莱克内 ;

丹尼斯·M·豪斯曼 ;

罗郑硕 ;

照健·史蒂文·黎 ;

希瓦南达·克里希南·卡纳卡萨巴保蒂 .

美国专利 :CN120344714A ,2025-07-18

[9]

金属膜的选择性沉积 [P].

尚陈 ;

俊晴渡会 ;

隆大小沼 ;

大石川 ;

邦年难波 .

中国专利 :CN109087885B ,2018-12-25

[10]

一种金属膜层沉积方法和金属膜层沉积设备 [P].

何中凯 ;

荣延栋 ;

刘菲菲 ;

夏威 ;

丁培军 .

中国专利 :CN109207942A ,2019-01-15

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