物理气相沉积设备

被引：0

申请号：

CN202011112429.1

申请日：

2020-10-16

公开(公告)号：

CN114381692A

公开(公告)日：

2022-04-22

发明(设计)人：

尹勇

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区城北路235号1号楼

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

C23C1454 C23C1406 C23C1408

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

罗泳文

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-22	公开	公开
2022-05-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20201016

共 50 条

[1]

物理气相沉积设备 [P].

尹勇 .

中国专利 :CN214458275U ,2021-10-22

[2]

物理气相沉积设备 [P].

周云 ;

宋维聪 ;

潘钱森 ;

霍焕俊 .

中国专利 :CN110527967B ,2019-12-03

[3]

物理气相沉积设备及物理气相沉积工艺 [P].

边国栋 .

中国专利 :CN103572211B ,2014-02-12

[4]

物理气相沉积设备和物理气相沉积方法 [P].

李扬德 ;

卢昆 ;

高宽 .

中国专利 :CN107723675A ,2018-02-23

[5]

物理气相沉积设备 [P].

何龑 ;

杨小军 .

中国专利 :CN202705452U ,2013-01-30

[6]

物理气相沉积设备 [P].

佘清 .

中国专利 :CN103849840B ,2014-06-11

[7]

物理气相沉积设备 [P].

李扬德 ;

卢昆 ;

高宽 .

中国专利 :CN207918947U ,2018-09-28

[8]

物理气相沉积腔室和物理气相沉积设备 [P].

郭宏瑞 ;

李冰 ;

黄其伟 .

中国专利 :CN110885965A ,2020-03-17

[9]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

陈杰锋 ;

张辉 .

中国专利 :CN108950510A ,2018-12-07

[10]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

陈杰锋 ;

李理 .

中国专利 :CN208667840U ,2019-03-29

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