密封热处理装置、机械手装置及其硬化基板的方法

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专利类型
发明
申请号
CN200810042576.9
申请日
2008-09-05
公开(公告)号
CN101349504A
公开(公告)日
2009-01-21
发明(设计)人
徐亮
申请人
申请人地址
200233上海市徐汇区宜山路757号三楼
IPC主分类号
F27B1700
IPC分类号
F27D500 F27D704 F27D300 H01L2100 H01L21677 B25J1508
代理机构
上海申汇专利代理有限公司
代理人
白璧华
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
密封热处理装置及其机械手装置 [P]. 
徐亮 .
中国专利 :CN201266014Y ,2009-07-01
[2]
用于密封热处理装置的机械手装置 [P]. 
徐亮 .
中国专利 :CN101712154B ,2010-05-26
[3]
机械手的控制装置及其控制方法、机械手装置 [P]. 
张贺 ;
孔祥玉 .
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[4]
传送机械手和用于利用机械手处理基板的装置 [P]. 
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[5]
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[6]
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金泰叶 ;
朴城范 ;
宋雄起 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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