一种包含多种校准类型的晶圆标准样板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022169212.6

申请日：

2020-09-28

公开(公告)号：

CN213750299U

公开(公告)日：

2021-07-20

发明(设计)人：

蒋庄德张雅馨王琛英景蔚萱林启敬张易军张亮亮高崐李磊毛琦王松牛忠楠

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01R3500

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319

代理人：

苟冬梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-20	授权	授权

共 50 条

[21]

一种复合型微纳米高深宽比沟槽标准样板 [P].

雷李华 ;

傅云霞 ;

管钰晴 ;

曾燕华 ;

杜黎明 ;

唐冬梅 ;

邹文哲 .

中国专利 :CN216846167U ,2022-06-28

[22]

一种同轴度误差校准用标准偏心轴 [P].

时梅 .

中国专利 :CN218063058U ,2022-12-16

[23]

一种样板的检验方法 [P].

张海欧 ;

卫传凯 .

中国专利 :CN109141175A ,2019-01-04

[24]

一种二维栅格标准板的校准装置和方法 [P].

孙恺欣 .

中国专利 :CN113701798A ,2021-11-26

[25]

一种二维栅格标准板的校准装置和方法 [P].

孙恺欣 .

中国专利 :CN113701798B ,2024-01-19

[26]

一种校准用纳米级台阶标准样品的制备方法 [P].

董国材 ;

李金龙 .

中国专利 :CN104101736A ,2014-10-15

[27]

一种焊缝测量仪器的标准装置及校准方法 [P].

王琨 ;

李淑映 ;

余俊斌 ;

纪红刚 ;

朱晓强 ;

闻俊杰 ;

黄杏春 ;

李帆 .

中国专利 :CN112097691A ,2020-12-18

[28]

一种样板扫描设备 [P].

赵峥 ;

徐洪玉 .

中国专利 :CN223258885U ,2025-08-22

[29]

一种基于GPS秒脉冲的恒温晶振自动驯服和校准方法及系统 [P].

杨玲 ;

张寅 ;

袁文艳 ;

杨苇 ;

白军科 .

中国专利 :CN120768353A ,2025-10-10

[30]

一种晶圆加工用精确测量装置 [P].

许军 .

中国专利 :CN115662912A ,2023-01-31

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