共 50 条
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一种包含多种校准类型的晶圆标准样板
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022169212.6
申请日：
2020-09-28
公开(公告)号：
CN213750299U
公开(公告)日：
2021-07-20
发明(设计)人：
蒋庄德
张雅馨
王琛英
景蔚萱
林启敬
张易军
张亮亮
高崐
李磊
毛琦
王松
牛忠楠
申请人：
申请人地址：
710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
IPC主分类号：
G01R3500
IPC分类号：
G03F720
代理机构：
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319
代理人：
苟冬梅
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-20 | 授权 | 授权 |