研磨液清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200720069510.X

申请日：

2007-04-24

公开(公告)号：

CN201046545Y

公开(公告)日：

2008-04-16

发明(设计)人：

刘宇龙李春李宁董兵超

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B2900

IPC分类号：

B24B5502 H01L21304

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-04-16	授权	授权
2012-12-19	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101487776400 IPC(主分类):B24B 29/00 专利号:ZL200720069510X 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20121116
2017-05-24	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101722427748 IPC(主分类):B24B 29/00 专利号:ZL200720069510X 申请日:20070424 授权公告日:20080416 终止日期:无

共 50 条

[1]

多孔研磨液清洗装置 [P].

刘俊成 .

中国专利 :CN213795989U ,2021-07-27

[2]

研磨头清洗装置 [P].

黄汇丰 ;

蒋德念 ;

赵振伟 .

中国专利 :CN209425253U ,2019-09-24

[3]

研磨头清洗装置 [P].

倪震威 ;

马成斌 ;

季文明 ;

蒋策策 ;

方瑞鸿 .

中国专利 :CN112371614A ,2021-02-19

[4]

一种振动研磨清洗装置 [P].

高军鹏 .

中国专利 :CN205111467U ,2016-03-30

[5]

研磨头保湿清洗装置 [P].

左少杰 ;

熊世伟 ;

王怀锋 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201856166U ,2011-06-08

[6]

一种研磨液喷雾清洗装置 [P].

李文涛 ;

顾向前 ;

龚春东 .

中国专利 :CN212168324U ,2020-12-18

[7]

一种研磨液喷雾清洗装置 [P].

黄金民 ;

范玉辉 ;

黄金江 .

中国专利 :CN216095403U ,2022-03-22

[8]

研磨清洗装置 [P].

刘海平 .

中国专利 :CN105234803A ,2016-01-13

[9]

研磨清洗装置 [P].

刘海平 .

中国专利 :CN205201294U ,2016-05-04

[10]

带有研磨液供应功能的研磨头及研磨装置 [P].

唐强 ;

李佩 .

中国专利 :CN202592202U ,2012-12-12

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