研磨清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520641541.2

申请日：

2015-08-24

公开(公告)号：

CN205201294U

公开(公告)日：

2016-05-04

发明(设计)人：

刘海平

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区西乡街道簕竹角宏发创新园2栋4楼

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3734

代理机构：

深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285

代理人：

王仲凯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	授权	授权
2022-08-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/10 申请日:20150824 授权公告日:20160504 终止日期:20210824

共 50 条

[1]

研磨清洗装置 [P].

刘海平 .

中国专利 :CN105234803A ,2016-01-13

[2]

研磨头清洗装置、研磨设备及清洗方法 [P].

丁弋 ;

朱也方 .

中国专利 :CN104308720A ,2015-01-28

[3]

研磨头清洗装置 [P].

倪震威 ;

马成斌 ;

季文明 ;

蒋策策 ;

方瑞鸿 .

中国专利 :CN112371614A ,2021-02-19

[4]

研磨头清洗装置 [P].

黄汇丰 ;

蒋德念 ;

赵振伟 .

中国专利 :CN209425253U ,2019-09-24

[5]

研磨液清洗装置 [P].

刘宇龙 ;

李春 ;

李宁 ;

董兵超 .

中国专利 :CN201046545Y ,2008-04-16

[6]

研磨头保湿清洗装置 [P].

左少杰 ;

熊世伟 ;

王怀锋 ;

余文军 ;

曹开玮 .

中国专利 :CN201856166U ,2011-06-08

[7]

研磨头的清洗装置 [P].

刘国平 ;

房现飞 ;

高志强 ;

李宁 .

中国专利 :CN101121247A ,2008-02-13

[8]

研磨头清洗装置和化学机械研磨设备 [P].

董兵超 .

中国专利 :CN203887686U ,2014-10-22

[9]

清洗装置、研磨装置 [P].

宫崎充 ;

藤本友章 ;

深谷孝一 ;

及川文利 ;

井上拓也 .

中国专利 :CN113043158A ,2021-06-29

[10]

清洗装置、研磨装置 [P].

宫崎充 ;

藤本友章 ;

深谷孝一 ;

及川文利 ;

井上拓也 .

日本专利 :CN113043158B ,2024-07-02

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