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基板的输送装置及输送方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210182547.9
申请日：
2012-04-20
公开(公告)号：
CN102760677B
公开(公告)日：
2012-10-31
发明(设计)人：
佐藤裕一
上原贞人
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
徐冰冰;黄剑锋
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-10-31 | 公开 | 公开 |
| 2015-02-25 | 授权 | 授权 |
| 2012-12-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101370322846 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2012101825479 申请日:20120420 |