基板输送装置、基板的输送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410045181.X

申请日：

2014-02-07

公开(公告)号：

CN103974608A

公开(公告)日：

2014-08-06

发明(设计)人：

小浜次郎石本达也岩濑温资

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H05K1302

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

何立波;张天舒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101646110308 IPC(主分类):H05K 13/02 专利申请号:201410045181X 申请日:20140207
2014-08-06	公开	公开
2018-04-20	授权	授权

共 50 条

[1]

基板的输送装置及输送方法 [P].

佐藤裕一 ;

上原贞人 .

中国专利 :CN102760677B ,2012-10-31

[2]

基板输送装置以及基板输送方法 [P].

堀内庆太 ;

前田幸治 ;

高梨守弘 .

中国专利 :CN112185848A ,2021-01-05

[3]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

辻桥辰彦 ;

榎木田卓 ;

松下和辉 .

中国专利 :CN115621176A ,2023-01-17

[4]

基板输送装置及基板输送方法 [P].

大塚庆崇 ;

宫崎文宏 ;

中满孝志 .

中国专利 :CN102157424B ,2011-08-17

[5]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

荻本真一 .

中国专利 :CN1298515C ,2004-12-29

[6]

基板输送方法及基板输送装置 [P].

山岸大祐 ;

小山胜彦 ;

佐藤正孝 ;

竹内靖 .

中国专利 :CN102683252B ,2012-09-19

[7]

基板输送方法及基板输送装置 [P].

森川胜洋 .

中国专利 :CN100517630C ,2007-06-13

[8]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

武者和博 ;

南展史 ;

铃木杰之 .

中国专利 :CN112670229B ,2021-04-16

[9]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

坂元直人 ;

牧准之辅 ;

梶原英树 ;

森弘明 ;

石丸和俊 ;

绪方正彦 .

中国专利 :CN107230656A ,2017-10-03

[10]

基板输送装置和基板输送方法 [P].

林徳太郎 .

中国专利 :CN110729215A ,2020-01-24

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