一种硅片分片装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511029675.X

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN105489534A

公开(公告)日：

2016-04-13

发明(设计)人：

邱文良

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴中区旺吴路28号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251

代理人：

王华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-13	公开	公开
2018-08-31	授权	授权
2016-05-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101659556294 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201511029675X 申请日:20151231

共 50 条

[1]

一种硅片分片装置 [P].

邱文良 .

中国专利 :CN205303426U ,2016-06-08

[2]

硅片分片装置 [P].

邱文良 .

中国专利 :CN205303496U ,2016-06-08

[3]

硅片分片装置 [P].

邱文良 .

中国专利 :CN105428465A ,2016-03-23

[4]

一种硅片分片机构 [P].

邱文良 .

中国专利 :CN205294229U ,2016-06-08

[5]

一种硅片分片机构 [P].

邱文良 .

中国专利 :CN105460612A ,2016-04-06

[6]

硅片分片装置 [P].

杨宣教 .

中国专利 :CN216413032U ,2022-04-29

[7]

硅片分片装置 [P].

杨宣教 .

中国专利 :CN114093801A ,2022-02-25

[8]

硅片分片机构 [P].

邱文良 .

中国专利 :CN205303425U ,2016-06-08

[9]

硅片分片机构 [P].

邱文良 .

中国专利 :CN105448784A ,2016-03-30

[10]

硅片分片传送装置 [P].

顾韻 ;

凌兆贵 .

中国专利 :CN204473791U ,2015-07-15

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