基板清洗装置、基板清洗方法以及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110147106.4

申请日：

2016-02-16

公开(公告)号：

CN112908901A

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

田中英明

申请人：

申请人地址：

日本东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102 B08B100 B08B104

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20160216
2021-06-04	公开	公开

共 50 条

[1]

基板清洗装置、基板清洗方法以及基板处理装置 [P].

田中英明 .

中国专利 :CN105895556A ,2016-08-24

[2]

基板清洗装置、基板清洗方法以及基板处理装置 [P].

田中英明 .

日本专利 :CN112908901B ,2024-11-26

[3]

基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗方法、以及基板处理方法 [P].

梶川敬之 ;

半田直廉 ;

西智也 .

日本专利 :CN119343750A ,2025-01-21

[4]

基板清洗装置、基板清洗方法、基板处理装置以及基板干燥装置 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN108780746A ,2018-11-09

[5]

基板清洗装置、基板清洗方法、基板处理装置以及基板干燥装置 [P].

石桥知淳 .

日本专利 :CN108780746B ,2024-03-22

[6]

基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗方法以及喷嘴 [P].

及川文利 ;

深谷孝一 ;

中野央二郎 .

中国专利 :CN113948420A ,2022-01-18

[7]

基板清洗装置、基板处理装置及基板清洗方法 [P].

徐海洋 ;

稻叶充彦 .

日本专利 :CN118943054A ,2024-11-12

[8]

基板清洗装置、基板清洗方法、基板处理装置 [P].

川村茂 ;

林辉幸 .

中国专利 :CN101313389A ,2008-11-26

[9]

基板清洗装置以及基板清洗方法 [P].

栗田昌人 .

中国专利 :CN105990189A ,2016-10-05

[10]

基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗方法及基板处理方法 [P].

村地弘美 ;

吉田隆一 ;

西山耕二 ;

门间徹 ;

寒河江力 .

中国专利 :CN107818928A ,2018-03-20

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