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基板清洗装置以及基板清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510552803.2
申请日：
2015-09-01
公开(公告)号：
CN105990189A
公开(公告)日：
2016-10-05
发明(设计)人：
栗田昌人
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
万利军;段承恩
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-11 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20161005 |
| 2016-10-05 | 公开 | 公开 |
| 2016-11-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101686682651 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015105528032 申请日:20150901 |
| 2017-08-22 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757661995 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015105528032 登记生效日:20170803 变更事项:申请人 变更前权利人:株式会社 东芝 变更后权利人:东芝存储器株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 |