基板清洗装置、基板清洗系统以及基板清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310334657.7

申请日：

2013-08-02

公开(公告)号：

CN103567169B

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

金子都折居武彦志村悟山下刚秀菅野至

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B08B300

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-28	授权	授权
2015-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101600322037 IPC(主分类):B08B 3/00 专利申请号:2013103346577 申请日:20130802
2014-02-12	公开	公开

共 50 条

[1]

基板清洗装置以及基板清洗方法 [P].

金子都 ;

折居武彦 ;

志村悟 ;

山下刚秀 ;

菅野至 .

中国专利 :CN106847729A ,2017-06-13

[2]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104624561B ,2015-05-20

[3]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN110270558A ,2019-09-24

[4]

基板清洗方法以及基板清洗装置 [P].

吉田幸史 .

中国专利 :CN109545705A ,2019-03-29

[5]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

相原明德 ;

田中晓 ;

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104637784B ,2015-05-20

[6]

基板清洗刷以及基板清洗装置 [P].

平冈伸康 ;

矢野航 ;

篠原敬 ;

田中克典 .

中国专利 :CN110076105A ,2019-08-02

[7]

基板清洗装置以及基板清洗方法 [P].

冲田展彬 ;

中村一树 ;

冈田吉文 .

日本专利 :CN120380579A ,2025-07-25

[8]

基板清洗装置以及基板清洗方法 [P].

栗田昌人 .

中国专利 :CN105990189A ,2016-10-05

[9]

基板清洗装置以及基板清洗方法 [P].

高桥拓马 ;

中村一树 .

日本专利 :CN117981056A ,2024-05-03

[10]

基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗方法以及喷嘴 [P].

及川文利 ;

深谷孝一 ;

中野央二郎 .

中国专利 :CN113948420A ,2022-01-18

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