基板清洗方法、基板清洗系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410639940.5

申请日：

2014-11-13

公开(公告)号：

CN104624561B

公开(公告)日：

2015-05-20

发明(设计)人：

金子都田内启士折居武彦菅野至

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B08B700

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-20	公开	公开
2016-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101665478563 IPC(主分类):B08B 7/00 专利申请号:2014106399405 申请日:20141113
2019-06-11	授权	授权

共 50 条

[1]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN110270558A ,2019-09-24

[2]

基板清洗装置、基板清洗系统以及基板清洗方法 [P].

金子都 ;

折居武彦 ;

志村悟 ;

山下刚秀 ;

菅野至 .

中国专利 :CN103567169B ,2014-02-12

[3]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

相原明德 ;

田中晓 ;

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104637784B ,2015-05-20

[4]

基板清洗系统 [P].

相原明德 ;

金子都 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN209747470U ,2019-12-06

[5]

基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

邱奕锦 ;

孙志源 ;

林清山 .

中国专利 :CN114695162B ,2025-08-12

[6]

基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

邱奕锦 ;

孙志源 ;

林清山 .

中国专利 :CN114695162A ,2022-07-01

[7]

基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

高桥广毅 ;

佐藤航平 ;

深谷孝一 .

中国专利 :CN114762089A ,2022-07-15

[8]

基板清洗方法、基板清洗系统以及存储介质 [P].

关口贤治 ;

菅野至 ;

相原明德 ;

立花康三 .

中国专利 :CN107437517B ,2017-12-05

[9]

基板清洗方法、基板清洗系统和存储介质 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 ;

相原明德 ;

田中晓 .

中国专利 :CN110060924A ,2019-07-26

[10]

基板清洗装置以及基板清洗方法 [P].

金子都 ;

折居武彦 ;

志村悟 ;

山下刚秀 ;

菅野至 .

中国专利 :CN106847729A ,2017-06-13

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