基板清洗系统及基板清洗方法

被引：0

申请号：

CN202080084954.9

申请日：

2020-11-25

公开(公告)号：

CN114762089A

公开(公告)日：

2022-07-15

发明(设计)人：

高桥广毅佐藤航平深谷孝一

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	公开	公开
2022-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20201125

共 50 条

[1]

基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

邱奕锦 ;

孙志源 ;

林清山 .

中国专利 :CN114695162B ,2025-08-12

[2]

基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

邱奕锦 ;

孙志源 ;

林清山 .

中国专利 :CN114695162A ,2022-07-01

[3]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104624561B ,2015-05-20

[4]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

相原明德 ;

田中晓 ;

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104637784B ,2015-05-20

[5]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN110270558A ,2019-09-24

[6]

基板蚀刻清洗机、基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

温俊斌 .

中国专利 :CN106975636A ,2017-07-25

[7]

基板清洗装置、基板清洗系统以及基板清洗方法 [P].

金子都 ;

折居武彦 ;

志村悟 ;

山下刚秀 ;

菅野至 .

中国专利 :CN103567169B ,2014-02-12

[8]

基板清洗装置及基板清洗系统 [P].

舒福璋 ;

李伟 ;

尹影 ;

石启鹏 .

中国专利 :CN117563994A ,2024-02-20

[9]

基板清洗装置及基板清洗系统 [P].

舒福璋 ;

李伟 ;

尹影 ;

石启鹏 .

中国专利 :CN221657283U ,2024-09-06

[10]

基板清洗系统及清洗方法 [P].

宋烨 .

中国专利 :CN108568419A ,2018-09-25

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