基板清洗装置及基板清洗系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311843424.X

申请日：

2023-12-28

公开(公告)号：

CN117563994A

公开(公告)日：

2024-02-20

发明(设计)人：

舒福璋李伟尹影石启鹏

申请人：

北京晶亦精微科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

B08B1/36

IPC分类号：

H01L21/67 B08B1/12 B08B1/20

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

杨瑞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B08B 1/36申请日:20231228
2024-02-20	公开	公开

共 50 条

[1]

基板清洗装置及基板清洗系统 [P].

舒福璋 ;

李伟 ;

尹影 ;

石启鹏 .

中国专利 :CN221657283U ,2024-09-06

[2]

基板清洗装置、基板清洗系统以及基板清洗方法 [P].

金子都 ;

折居武彦 ;

志村悟 ;

山下刚秀 ;

菅野至 .

中国专利 :CN103567169B ,2014-02-12

[3]

基板清洗用排气装置及基板清洗系统 [P].

张博 ;

张为强 ;

尹影 ;

李婷 .

中国专利 :CN223505861U ,2025-11-04

[4]

基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

邱奕锦 ;

孙志源 ;

林清山 .

中国专利 :CN114695162B ,2025-08-12

[5]

基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

邱奕锦 ;

孙志源 ;

林清山 .

中国专利 :CN114695162A ,2022-07-01

[6]

基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

高桥广毅 ;

佐藤航平 ;

深谷孝一 .

中国专利 :CN114762089A ,2022-07-15

[7]

基板清洗辊、基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN107078046A ,2017-08-18

[8]

基板清洗方法及基板清洗装置 [P].

日野出大辉 ;

逸见昂史 ;

太田乔 ;

中西恭平 ;

中泽和彦 .

中国专利 :CN114649193A ,2022-06-21

[9]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

圆山洋介 .

中国专利 :CN115083947A ,2022-09-20

[10]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

中村一树 ;

冈田吉文 ;

冲田展彬 .

日本专利 :CN117747489A ,2024-03-22

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