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一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110286373.X
申请日：
2021-03-17
公开(公告)号：
CN113042991B
公开(公告)日：
2021-06-29
发明(设计)人：
叶鸿新
申请人：
申请人地址：
250101 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
IPC主分类号：
B23P1900
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
李洋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-30 | 授权 | 授权 |
| 2021-06-29 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B23P 19/00 申请日:20210317 |