沟槽电容器及制造沟槽电容器之方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410056768.7

申请日：

2004-08-18

公开(公告)号：

CN1585096A

公开(公告)日：

2005-02-23

发明(设计)人：

H·塞德 A·塞格 S·库德卡 M·古茨彻

申请人：

申请人地址：

联邦德国慕尼黑

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L218242 H01L27108

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

张雪梅;梁永

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-02-23	公开	公开
2010-11-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止终止日期:无号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101012498397 IPC(主分类):H01L 21/02 专利号:ZL2004100567687 申请日:20040818 授权公告日:20070926
2007-09-26	授权	授权

共 50 条

[1]

沟槽电容器和用于制造沟槽电容器的方法 [P].

S.施魏格 ;

S.班茨哈夫 .

中国专利 :CN107924954A ,2018-04-17

[2]

一种沟槽电容器的制造方法及沟槽电容器 [P].

葛星晨 ;

林宏 .

中国专利 :CN118175921A ,2024-06-11

[3]

一种沟槽电容器的制造方法及沟槽电容器 [P].

蔡巧明 ;

林宏 .

中国专利 :CN115763423B ,2025-09-09

[4]

一种沟槽电容器的制造方法及沟槽电容器 [P].

林宏 ;

葛星晨 .

中国专利 :CN118284326A ,2024-07-02

[5]

电容器及制造电容器之方法 [P].

C·阿伦斯 ;

W·哈通 ;

C·赫祖姆 ;

R·洛塞汉德 ;

A·鲁格梅 .

中国专利 :CN1596463A ,2005-03-16

[6]

沟槽电容器和形成该沟槽电容器的方法 [P].

R.贝格尔 ;

S.庞普尔 ;

T.波普 .

中国专利 :CN103296000B ,2013-09-11

[7]

沟槽电容器及其制造方法 [P].

林宏 ;

李浩业 ;

傅振轩 .

中国专利 :CN119451136A ,2025-02-14

[8]

沟槽电容器及其制造方法 [P].

林宏 ;

蔡巧明 ;

赵文远 .

中国专利 :CN119451137A ,2025-02-14

[9]

沟槽电容器及其制造方法 [P].

A·K·钦撒金蒂 ;

金德起 ;

李熙 .

中国专利 :CN101226898B ,2008-07-23

[10]

沟槽隔离电容器 [P].

H·卡瓦哈勒 ;

B·胡 ;

S·彭德哈卡 .

中国专利 :CN107785486A ,2018-03-09

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