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沟槽电容器及其制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310948142.X
申请日：
2023-07-31
公开(公告)号：
CN119451137A
公开(公告)日：
2025-02-14
发明(设计)人：
林宏 蔡巧明 赵文远
申请人：
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请人地址：
201807 上海市嘉定区娄陆公路497号
IPC主分类号：
H10D1/47
IPC分类号：
H10N97/00 H01L23/522 H01L23/64 H10D84/00
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
张亚静
法律状态：
公开
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-14 公开 公开
2025-03-04 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H10D 1/60申请日:20230731
共 50 条
[1]
沟槽电容器及其制造方法 [P]. 
林宏 ;
李浩业 ;
傅振轩 .
中国专利 :CN119451136A ,2025-02-14
[2]
一种沟槽电容器的制造方法及沟槽电容器 [P]. 
蔡巧明 ;
林宏 .
中国专利 :CN115763423B ,2025-09-09
[3]
双层电容器及其制造方法 [P]. 
林宏 ;
陈武佳 ;
李浩业 .
中国专利 :CN119446795A ,2025-02-14
[4]
一种沟槽电容器的制造方法及沟槽电容器 [P]. 
葛星晨 ;
林宏 .
中国专利 :CN118175921A ,2024-06-11
[5]
一种沟槽电容器的制造方法及沟槽电容器 [P]. 
林宏 ;
葛星晨 .
中国专利 :CN118284326A ,2024-07-02
[6]
沟槽电容器及其制造方法 [P]. 
A·K·钦撒金蒂 ;
金德起 ;
李熙 .
中国专利 :CN101226898B ,2008-07-23
[7]
电容器件及其制造方法 [P]. 
林宏 ;
赵文远 ;
陈武佳 .
中国专利 :CN119447090A ,2025-02-14
[8]
电容器件及其制造方法 [P]. 
林宏 ;
赵文远 ;
陈武佳 .
中国专利 :CN119447090B ,2025-10-17
[9]
沟槽电容器及制造沟槽电容器之方法 [P]. 
H·塞德 ;
A·塞格 ;
S·库德卡 ;
M·古茨彻 .
中国专利 :CN1585096A ,2005-02-23
[10]
深沟槽电容器及其制造方法 [P]. 
赵常宝 ;
叶国梁 ;
胡胜 .
中国专利 :CN115425006A ,2022-12-02
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