调焦调平测量系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710171969.5

申请日：

2007-12-07

公开(公告)号：

CN101201548A

公开(公告)日：

2008-06-18

发明(设计)人：

关俊

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-23	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754149211 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007101719695 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2008-06-18	公开	公开
2011-05-11	授权	授权
2008-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[41]

考虑系统耦合特性的光刻机工件台调平调焦方法 [P].

彭超 ;

邹见效 ;

牛凡 ;

谢川 ;

于力 .

中国专利 :CN113625533B ,2021-11-09

[42]

热管测量系统及测量方法 [P].

陈次郎 ;

游本懋 .

中国专利 :CN101299030A ,2008-11-05

[43]

缝隙测量系统及测量方法 [P].

方宇 ;

董大卫 ;

周志峰 ;

杨皓 ;

吴明晖 .

中国专利 :CN111486788A ,2020-08-04

[44]

厚度测量系统及测量方法 [P].

汤灿东 ;

罗家明 ;

吴伟平 .

中国专利 :CN119146905A ,2024-12-17

[45]

奥氏体测量系统及测量方法 [P].

张建华 ;

程亚宇 ;

王振山 ;

关志刚 ;

张相臣 ;

王文军 ;

王忠诚 ;

赵贺祥 .

中国专利 :CN109507238A ,2019-03-22

[46]

温度测量系统及方法 [P].

赵知渊 .

中国专利 :CN103698046A ,2014-04-02

[47]

阻抗测量系统及方法 [P].

陈柏瑞 .

中国专利 :CN1797012A ,2006-07-05

[48]

影像测量系统及方法 [P].

张旨光 ;

袁忠奎 ;

邹志军 ;

佘正才 ;

薛晓光 .

中国专利 :CN103033128A ,2013-04-10

[49]

测量方法及系统 [P].

梅艳 ;

袁龙涛 ;

牛冉 ;

尚卫华 ;

叶菁 ;

瞿鑫 .

中国专利 :CN105738257A ,2016-07-06

[50]

温度测量系统及方法 [P].

刘珅珅 .

中国专利 :CN106568534A ,2017-04-19

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