调焦调平测量系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710171969.5

申请日：

2007-12-07

公开(公告)号：

CN101201548A

公开(公告)日：

2008-06-18

发明(设计)人：

关俊

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-23	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754149211 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007101719695 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2008-06-18	公开	公开
2011-05-11	授权	授权
2008-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

调焦调平测量系统及其测量方法 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101187783A ,2008-05-28

[2]

一种调焦调平测量系统 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101169601A ,2008-04-30

[3]

一种调焦调平测量方法及测量系统 [P].

李琛毅 ;

李世光 ;

钟志坚 .

中国专利 :CN115185161B ,2025-10-03

[4]

一种调焦调平测量系统及其校准方法 [P].

杨宣华 ;

陈楠鹏 ;

王海江 .

中国专利 :CN106933072A ,2017-07-07

[5]

一种高精度调焦调平测量系统 [P].

李艳丽 ;

严伟 ;

冯金花 ;

王建 .

中国专利 :CN105242501A ,2016-01-13

[6]

调焦调平测量系统中镜片轴向调整装置 [P].

吴树福 ;

章富平 ;

陈飞彪 ;

王海江 ;

程海林 ;

唐平玉 .

中国专利 :CN203069860U ,2013-07-17

[7]

用于调焦调平测量系统的零位调整装置 [P].

严兵 ;

陈飞彪 ;

张冲 ;

贾翔 .

中国专利 :CN102252606B ,2011-11-23

[8]

用于光刻设备的调焦调平系统 [P].

唐平玉 ;

房晓俊 .

中国专利 :CN104950583A ,2015-09-30

[9]

兼顾对准和调焦调平的测量系统及其测量方法和光刻机 [P].

张成爽 ;

潘炼东 ;

于大维 .

中国专利 :CN108008607B ,2018-05-08

[10]

一种兼顾调焦调平和精密对准的测量系统及其测量方法 [P].

罗先刚 ;

刘明刚 ;

高平 ;

蒲明博 ;

马晓亮 ;

李雄 .

中国专利 :CN111381460A ,2020-07-07

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