金属系溅射靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980106669.6

申请日：

2009-02-27

公开(公告)号：

CN101960042A

公开(公告)日：

2011-01-26

发明(设计)人：

稻熊徹坂本广明安藤彰朗大石忠美泉真吾中村元

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F315 B22F318

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-26	公开	公开
2011-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101058488941 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2009801066696 申请日:20090227
2013-06-12	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101609427157 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL2009801066696 变更事项:专利权人变更前:新日铁高新材料股份有限公司变更后:新日铁住金高新材料股份有限公司变更事项:地址变更前:日本东京都变更后:日本东京都
2021-02-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20090227 授权公告日:20130508 终止日期:20200227

共 50 条

[1]

溅射靶材 [P].

长谷川浩一 ;

石井信雄 ;

朝木知美 .

中国专利 :CN1217028C ,2003-11-26

[2]

溅射靶材 [P].

长谷川浩之 ;

松原庆明 .

中国专利 :CN107735504B ,2018-02-23

[3]

溅射靶材 [P].

福岛英子 ;

上坂修治郎 ;

玉田悠 .

中国专利 :CN105385995A ,2016-03-09

[4]

溅射靶材 [P].

长谷川浩一 ;

石井信雄 .

中国专利 :CN1867693B ,2006-11-22

[5]

溅射靶材 [P].

玉田悠 ;

齐藤和也 ;

上坂修治郎 ;

熊谷友正 .

中国专利 :CN106868459B ,2017-06-20

[6]

溅射靶材 [P].

E.Y.伊瓦诺夫 ;

A.莱波维克 ;

J.里泽 .

中国专利 :CN102844460A ,2012-12-26

[7]

溅射靶材 [P].

原範明 ;

枪田聪明 ;

松坂律也 ;

荻原谦 ;

高桥光弥 ;

铃木弘章 .

中国专利 :CN1534110A ,2004-10-06

[8]

溅射靶材以及由该溅射靶材所得的溅射靶 [P].

松前和男 .

中国专利 :CN101631893A ,2010-01-20

[9]

溅射靶材 [P].

长谷川浩之 ;

新村梦树 .

中国专利 :CN109072419B ,2018-12-21

[10]

溅射靶材 [P].

新村梦树 .

中国专利 :CN111712587A ,2020-09-25

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