使用微透镜阵列的扫描曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180048221.0

申请日：

2011-09-12

公开(公告)号：

CN103140804B

公开(公告)日：

2013-06-05

发明(设计)人：

梶山康一水村通伸畑中诚新井敏成

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县横浜市

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B300 H01L21027

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

何欣亭;王忠忠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-05	公开	公开
2013-07-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101486729357 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011800482210 申请日:20110912
2015-07-01	授权	授权
2021-08-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20110912 授权公告日:20150701 终止日期:20200912

共 50 条

[1]

使用微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 ;

畑中诚 .

中国专利 :CN103189798B ,2013-07-03

[2]

微透镜阵列及使用微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 ;

畑中诚 .

中国专利 :CN103718066A ,2014-04-09

[3]

微透镜阵列以及使用该微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 ;

渡边由雄 .

中国专利 :CN103907061A ,2014-07-02

[4]

使用了微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN103052917B ,2013-04-17

[5]

微透镜阵列的曝光装置和曝光方法 [P].

北村和也 ;

冈田训明 ;

关本芳宏 ;

仓田幸夫 ;

中西浩 .

中国专利 :CN1284009C ,2004-05-05

[6]

使用了微透镜阵列的曝光装置及光学构件 [P].

水村通伸 ;

新井敏成 .

中国专利 :CN103081060A ,2013-05-01

[7]

曝光装置以及微透镜阵列结构体 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN103392150B ,2013-11-13

[8]

微透镜曝光装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN103026458A ,2013-04-03

[9]

微透镜阵列以及使用微透镜阵列的车辆用灯具 [P].

风间彩香 .

日本专利 :CN117881921A ,2024-04-12

[10]

图像曝光设备和微透镜阵列单元 [P].

石川弘美 .

中国专利 :CN101103312A ,2008-01-09

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