曝光装置以及微透镜阵列结构体

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280011228.X

申请日：

2012-02-02

公开(公告)号：

CN103392150B

公开(公告)日：

2013-11-13

发明(设计)人：

水村通伸

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县横浜市

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B1326 H01L21027

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

毛立群;刘春元

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-13	公开	公开
2015-09-23	授权	授权
2013-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101550526358 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201280011228X 申请日:20120202
2021-01-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120202 授权公告日:20150923 终止日期:20200202

共 50 条

[1]

微透镜阵列以及使用该微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 ;

渡边由雄 .

中国专利 :CN103907061A ,2014-07-02

[2]

微透镜阵列及使用微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 ;

畑中诚 .

中国专利 :CN103718066A ,2014-04-09

[3]

微透镜曝光装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN103026458A ,2013-04-03

[4]

微透镜阵列的曝光装置和曝光方法 [P].

北村和也 ;

冈田训明 ;

关本芳宏 ;

仓田幸夫 ;

中西浩 .

中国专利 :CN1284009C ,2004-05-05

[5]

使用微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 ;

畑中诚 .

中国专利 :CN103189798B ,2013-07-03

[6]

使用微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

梶山康一 ;

水村通伸 ;

畑中诚 ;

新井敏成 .

中国专利 :CN103140804B ,2013-06-05

[7]

使用了微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN103052917B ,2013-04-17

[8]

使用了微透镜阵列的曝光装置及光学构件 [P].

水村通伸 ;

新井敏成 .

中国专利 :CN103081060A ,2013-05-01

[9]

图像曝光设备和微透镜阵列单元 [P].

石川弘美 .

中国专利 :CN101103312A ,2008-01-09

[10]

微透镜阵列以及使用微透镜阵列的车辆用灯具 [P].

风间彩香 .

日本专利 :CN117881921A ,2024-04-12

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