使用了微透镜阵列的曝光装置及光学构件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180042029.0

申请日：

2011-07-26

公开(公告)号：

CN103081060A

公开(公告)日：

2013-05-01

发明(设计)人：

水村通伸新井敏成

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县横浜市

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G02B300 G03F900

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

毛立群;刘春元

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-20	授权	授权
2021-07-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20110726 授权公告日:20160120 终止日期:20200726
2013-05-01	公开	公开
2013-10-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101525544376 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2011800420290 申请日:20110726

共 50 条

[1]

使用了微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN103052917B ,2013-04-17

[2]

微透镜阵列及使用微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 ;

畑中诚 .

中国专利 :CN103718066A ,2014-04-09

[3]

使用微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 ;

畑中诚 .

中国专利 :CN103189798B ,2013-07-03

[4]

使用微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

梶山康一 ;

水村通伸 ;

畑中诚 ;

新井敏成 .

中国专利 :CN103140804B ,2013-06-05

[5]

微透镜阵列以及使用该微透镜阵列的扫描曝光装置 [P].

水村通伸 ;

渡边由雄 .

中国专利 :CN103907061A ,2014-07-02

[6]

微透镜阵列的曝光装置和曝光方法 [P].

北村和也 ;

冈田训明 ;

关本芳宏 ;

仓田幸夫 ;

中西浩 .

中国专利 :CN1284009C ,2004-05-05

[7]

微透镜阵列、光学检测装置及微透镜阵列制备方法 [P].

杨慧 ;

张翊 .

中国专利 :CN108051876A ,2018-05-18

[8]

曝光装置以及微透镜阵列结构体 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN103392150B ,2013-11-13

[9]

微透镜曝光装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN103026458A ,2013-04-03

[10]

微透镜阵列及包括微透镜阵列的光学系统 [P].

关大介 ;

藤村佳代子 ;

冈野正登 ;

西尾幸畅 ;

桑垣内智仁 .

中国专利 :CN106461815B ,2017-02-22

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