氮化钛的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610003779.1

申请日：

2016-01-04

公开(公告)号：

CN106939411A

公开(公告)日：

2017-07-11

发明(设计)人：

徐建华刘英明荆学珍何*

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1406 C23C1418 H01L213205

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴圳添;吴敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-22	授权	授权
2017-07-11	公开	公开
2017-08-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101738777412 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2016100037791 申请日:20160104

共 50 条

[1]

氮化钛膜的形成方法 [P].

亨利J·拉莫斯 .

中国专利 :CN1623008A ,2005-06-01

[2]

氮化钛膜的形成方法和氮化钛膜的形成装置 [P].

两角友一朗 ;

菱屋晋吾 ;

原田豪繁 .

中国专利 :CN102655085A ,2012-09-05

[3]

形成氮化钛层的方法 [P].

布伦达·D·克劳斯 ;

尤金·P·马什 .

中国专利 :CN101228617B ,2011-02-09

[4]

保形且平滑的氮化钛层及其形成方法 [P].

赵贤哲 ;

金海英 ;

本森·B·尼 .

美国专利 :CN117355631A ,2024-01-05

[5]

保形且平滑的氮化钛层及其形成方法 [P].

郑昇勋 ;

N·慕克吉 ;

奥山美一 ;

N·纳吉博拉什拉菲 ;

B·B·尼 ;

金海英 ;

S·J·拉蒂 .

中国专利 :CN114729451A ,2022-07-08

[6]

以氮化钛为主的保形薄膜及其形成方法 [P].

N·慕克吉 ;

金海英 ;

J·麦克 ;

许在锡 ;

郑昇勋 ;

S·J·拉蒂 ;

S·丘格 ;

N·纳吉博拉什拉菲 ;

奥山美一 ;

B·B·尼 .

中国专利 :CN114746575A ,2022-07-12

[7]

保形的氮化钛硅基薄膜及其形成方法 [P].

阿吉特·达赫姆汗 ;

金海英 ;

赵贤哲 ;

本森·B·尼 .

美国专利 :CN117377792A ,2024-01-09

[8]

保形的氮化钛硅基薄膜及其形成方法 [P].

金海英 ;

赵贤哲 ;

阿吉特·达赫姆汗 ;

本森·B·尼 .

美国专利 :CN117378032A ,2024-01-09

[9]

在滚轮表面形成氮化钛薄膜的方法 [P].

许嘉麟 .

中国专利 :CN102312216A ,2012-01-11

[10]

亚微米级氮化钛、碳化钛和碳氮化钛粉末的燃烧合成方法 [P].

赫晓东 ;

郑永挺 ;

鲍春燕 .

中国专利 :CN100443443C ,2005-11-23

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