在滚轮表面形成氮化钛薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010213984.3

申请日：

2010-06-30

公开(公告)号：

CN102312216A

公开(公告)日：

2012-01-11

发明(设计)人：

许嘉麟

申请人：

申请人地址：

518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101323509849 IPC(主分类):C23C 16/34 专利申请号:2010102139843 申请日:20100630
2015-04-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101712982725 IPC(主分类):C23C 16/34 专利申请号:2010102139843 申请公布日:20120111
2012-01-11	公开	公开

共 50 条

[1]

氮化钛薄膜的制备方法 [P].

樊慧庆 ;

董广志 ;

朱养妮 ;

江新标 .

中国专利 :CN104928656A ,2015-09-23

[2]

一种氮化钛薄膜的制备方法和氮化钛薄膜 [P].

明帅强 ;

张亦哲 ;

夏洋 ;

屈芙蓉 ;

何萌 ;

赵丽莉 ;

吴非 ;

夏天 .

中国专利 :CN120967326A ,2025-11-18

[3]

氮化钛薄膜沉积方法 [P].

高晓丽 ;

丁培军 ;

王厚工 ;

刘菲菲 ;

宋海洋 .

中国专利 :CN110965023A ,2020-04-07

[4]

一种在基片表面制备氮化钛纳米薄膜的方法、具有薄膜的基片及其应用 [P].

谢贵柏 ;

苗光辉 ;

许建丽 ;

杨晶 ;

崔万照 ;

张洪太 ;

于洪喜 ;

王新波 ;

何鋆 .

中国专利 :CN108546929A ,2018-09-18

[5]

一种氮化钛薄膜的制备方法、氮化钛薄膜及半导体结构 [P].

胡颖 ;

熊高伟 ;

刘超飞 .

中国专利 :CN119774559A ,2025-04-08

[6]

钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法 [P].

毛启明 ;

牟海川 ;

姜来新 .

中国专利 :CN102051598A ,2011-05-11

[7]

在玻璃基片表面磷酸基硅烷-氮化钛复合薄膜的制备方法 [P].

安双利 .

中国专利 :CN101508531A ,2009-08-19

[8]

形成氮化钛层的方法 [P].

布伦达·D·克劳斯 ;

尤金·P·马什 .

中国专利 :CN101228617B ,2011-02-09

[9]

氮化钛的形成方法 [P].

徐建华 ;

刘英明 ;

荆学珍 ;

何* .

中国专利 :CN106939411A ,2017-07-11

[10]

氮化钛膜的形成方法和氮化钛膜的形成装置 [P].

两角友一朗 ;

菱屋晋吾 ;

原田豪繁 .

中国专利 :CN102655085A ,2012-09-05

← 1 2 3 4 5 →