一种氮化钛薄膜的制备方法和氮化钛薄膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510883453.1

申请日：

2025-06-29

公开(公告)号：

CN120967326A

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

明帅强张亦哲夏洋屈芙蓉何萌赵丽莉吴非夏天

申请人：

北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司中国科学院微电子研究所

申请人地址：

102600 北京市大兴区北京经济技术开发区核心区34M3地块

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/34 H01L21/3205

代理机构：

北京知迪知识产权代理有限公司 11628

代理人：

张子宽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20250629
2025-11-18	公开	公开

共 50 条

[1]

氮化钛薄膜的制备方法 [P].

樊慧庆 ;

董广志 ;

朱养妮 ;

江新标 .

中国专利 :CN104928656A ,2015-09-23

[2]

氮化钛薄膜沉积方法 [P].

高晓丽 ;

丁培军 ;

王厚工 ;

刘菲菲 ;

宋海洋 .

中国专利 :CN110965023A ,2020-04-07

[3]

一种氮化钛薄膜的制备方法、氮化钛薄膜及半导体结构 [P].

胡颖 ;

熊高伟 ;

刘超飞 .

中国专利 :CN119774559A ,2025-04-08

[4]

一种沉积氮化钛薄膜的方法 [P].

封铁柱 .

中国专利 :CN105551954A ,2016-05-04

[5]

钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法 [P].

毛启明 ;

牟海川 ;

姜来新 .

中国专利 :CN102051598A ,2011-05-11

[6]

氮化钛薄膜制备方法及系统 [P].

赵强 ;

魏学宏 ;

刘长安 .

中国专利 :CN103540894A ,2014-01-29

[7]

一种室温下制备氮化钛薄膜的方法 [P].

崔晓莉 ;

马明 .

中国专利 :CN101109097A ,2008-01-23

[8]

氮化钛薄膜及金属互连结构的制备方法 [P].

请求不公布姓名 ;

魏晓平 ;

左明光 .

中国专利 :CN119361429A ,2025-01-24

[9]

一种钛的氮化物薄膜及其制备方法 [P].

张易军 ;

任巍 ;

叶作光 ;

闫天怡 .

中国专利 :CN112063991A ,2020-12-11

[10]

一种氮化钛/氮化铝/镍纳米多层薄膜的制备方法 [P].

贺春林 ;

张金林 ;

王建明 ;

刘岩 ;

马国峰 ;

李海松 ;

娄德元 ;

杨雪飞 ;

白莹莹 ;

才庆魁 .

中国专利 :CN102337508A ,2012-02-01

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