一种氮化钛/氮化铝/镍纳米多层薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110324013.0

申请日：

2011-10-24

公开(公告)号：

CN102337508A

公开(公告)日：

2012-02-01

发明(设计)人：

贺春林张金林王建明刘岩马国峰李海松娄德元杨雪飞白莹莹才庆魁

申请人：

申请人地址：

110044 辽宁省沈阳市大东区望花南街21号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1406 C23C1418

代理机构：

沈阳技联专利代理有限公司 21205

代理人：

赵越

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101211313881 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2011103240130 申请日:20111024
2013-01-02	授权	授权
2012-02-01	公开	公开
2014-12-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101591736532 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2011103240130 申请日:20111024 授权公告日:20130102 终止日期:20131024

共 50 条

[1]

一种氮化钛/镍纳米多层薄膜的制备方法 [P].

贺春林 ;

张金林 ;

王建明 ;

刘岩 ;

马国峰 ;

李海松 ;

娄德元 ;

杨雪飞 ;

才庆魁 .

中国专利 :CN102330062B ,2012-01-25

[2]

氮化铝薄膜和氮化铝薄膜的制造方法 [P].

佐藤一成 ;

水原奈保 ;

谷崎圭祐 ;

宫永伦正 ;

樱田隆 ;

山本喜之 ;

中幡英章 .

中国专利 :CN101970708B ,2011-02-09

[3]

一种氮化钛薄膜的制备方法和氮化钛薄膜 [P].

明帅强 ;

张亦哲 ;

夏洋 ;

屈芙蓉 ;

何萌 ;

赵丽莉 ;

吴非 ;

夏天 .

中国专利 :CN120967326A ,2025-11-18

[4]

基于微波技术制备氮化钛/氮化铬/氮化铝涂层的方法 [P].

楼白杨 .

中国专利 :CN103849870A ,2014-06-11

[5]

氮化铝薄膜的制备方法 [P].

卢建航 ;

王子荣 ;

王农华 .

中国专利 :CN118712057B ,2024-12-31

[6]

氮化铝薄膜的制备方法 [P].

卢建航 ;

王子荣 ;

王农华 .

中国专利 :CN118712057A ,2024-09-27

[7]

氮化铝薄膜的制备方法 [P].

耿宏伟 ;

杨帆 ;

李庆明 ;

白锡春 .

中国专利 :CN118854236A ,2024-10-29

[8]

一种氮化铝薄膜的制备方法及基于氮化铝薄膜的器件 [P].

邢琨 ;

胡君玮 ;

杨波 .

中国专利 :CN116695239B ,2025-07-04

[9]

一种纳米氮化钛的制备方法及制备得到的纳米氮化钛 [P].

吉祥 ;

罗飞 .

中国专利 :CN115872369B ,2025-04-04

[10]

钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法 [P].

毛启明 ;

牟海川 ;

姜来新 .

中国专利 :CN102051598A ,2011-05-11

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