氮化铝薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310484251.0

申请日：

2023-04-28

公开(公告)号：

CN118854236A

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

耿宏伟杨帆李庆明白锡春

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

H01L21/02 C23C14/06 C23C14/54

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-29	公开	公开
2024-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20230428

共 50 条

[1]

氮化铝薄膜的制备方法 [P].

卢建航 ;

王子荣 ;

王农华 .

中国专利 :CN118712057B ,2024-12-31

[2]

氮化铝薄膜的制备方法 [P].

卢建航 ;

王子荣 ;

王农华 .

中国专利 :CN118712057A ,2024-09-27

[3]

氮化铝薄膜和氮化铝薄膜的制造方法 [P].

佐藤一成 ;

水原奈保 ;

谷崎圭祐 ;

宫永伦正 ;

樱田隆 ;

山本喜之 ;

中幡英章 .

中国专利 :CN101970708B ,2011-02-09

[4]

刻蚀氮化铝薄膜微图形的方法 [P].

徐东 ;

陈达 ;

张亚非 ;

蔡炳初 .

中国专利 :CN101101874A ,2008-01-09

[5]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548A ,2024-12-20

[6]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548B ,2025-04-25

[7]

调控氮化铝薄膜极性的方法 [P].

魏同波 ;

王璐璐 ;

王军喜 .

中国专利 :CN120366732A ,2025-07-25

[8]

一种氮化铝薄膜的制备方法及基于氮化铝薄膜的器件 [P].

邢琨 ;

胡君玮 ;

杨波 .

中国专利 :CN116695239B ,2025-07-04

[9]

氮化铝薄膜的制备方法及氮化镓薄膜的生长方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119252729A ,2025-01-03

[10]

一种氮化铝薄膜及其制备方法和用途 [P].

闫兰琴 ;

褚卫国 ;

徐丽华 ;

赵乐 .

中国专利 :CN111364017B ,2020-07-03

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