一种氮化铝薄膜及其制备方法和用途

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010310886.5

申请日：

2020-04-20

公开(公告)号：

CN111364017B

公开(公告)日：

2020-07-03

发明(设计)人：

闫兰琴褚卫国徐丽华赵乐

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村北一条11号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455 C23C1650 C23C1652 H01L3332

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

巩克栋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-22	授权	授权
2020-07-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

周柳江 ;

李晨 ;

张永起 ;

夏新辉 .

中国专利 :CN117568748A ,2024-02-20

[2]

氮化铝薄膜的制备方法 [P].

耿宏伟 ;

杨帆 ;

李庆明 ;

白锡春 .

中国专利 :CN118854236A ,2024-10-29

[3]

氮化铝薄膜和氮化铝薄膜的制造方法 [P].

佐藤一成 ;

水原奈保 ;

谷崎圭祐 ;

宫永伦正 ;

樱田隆 ;

山本喜之 ;

中幡英章 .

中国专利 :CN101970708B ,2011-02-09

[4]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548A ,2024-12-20

[5]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548B ,2025-04-25

[6]

一种氮化铝薄膜的制备方法 [P].

饶志鹏 ;

万军 ;

夏洋 ;

李超波 ;

刘键 ;

陈波 ;

黄成强 ;

石莎莉 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN102296278A ,2011-12-28

[7]

一种氮化铝-氧化铝薄膜及其制备方法和应用 [P].

蒋书森 ;

吕文龙 .

中国专利 :CN111455351A ,2020-07-28

[8]

一种氮化铝薄膜及其制备方法和薄膜体声波滤波器 [P].

杨斌 ;

陈功田 ;

孙景 .

中国专利 :CN114094976B ,2022-02-25

[9]

氮化铝单晶薄膜及其制备方法 [P].

康琳 ;

吴培亨 ;

蔡卫星 ;

施建荣 ;

陈亚军 .

中国专利 :CN1482274A ,2004-03-17

[10]

一种立方氮化铝薄膜及其制备方法和应用 [P].

程艳玲 ;

黎可旭 ;

杨盛凯 ;

张海南 ;

魏世宏 ;

林华泰 .

中国专利 :CN110578135B ,2019-12-17

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