一种在基片表面制备氮化钛纳米薄膜的方法、具有薄膜的基片及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810293001.8

申请日：

2018-03-30

公开(公告)号：

CN108546929A

公开(公告)日：

2018-09-18

发明(设计)人：

谢贵柏苗光辉许建丽杨晶崔万照张洪太于洪喜王新波何鋆

申请人：

申请人地址：

710100 陕西省西安市西街150号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455 C23C1602 C23C1650

代理机构：

中国航天科技专利中心 11009

代理人：

范晓毅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-18	公开	公开
2020-07-14	授权	授权
2018-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20180330

共 50 条

[1]

在玻璃基片表面磷酸基硅烷-氮化钛复合薄膜的制备方法 [P].

安双利 .

中国专利 :CN101508531A ,2009-08-19

[2]

一种氮化钛薄膜的制备方法和氮化钛薄膜 [P].

明帅强 ;

张亦哲 ;

夏洋 ;

屈芙蓉 ;

何萌 ;

赵丽莉 ;

吴非 ;

夏天 .

中国专利 :CN120967326A ,2025-11-18

[3]

在滚轮表面形成氮化钛薄膜的方法 [P].

许嘉麟 .

中国专利 :CN102312216A ,2012-01-11

[4]

玻璃基片表面氨基硅烷－稀土纳米薄膜的制备方法 [P].

程先华 ;

顾勤林 ;

白涛 ;

蒋喆 .

中国专利 :CN1830858A ,2006-09-13

[5]

钛/氮化钛纳米复合硬质薄膜的制备方法 [P].

毛启明 ;

牟海川 ;

姜来新 .

中国专利 :CN102051598A ,2011-05-11

[6]

玻璃基片表面制备巯基硅烷－稀土纳米复合薄膜的方法 [P].

程先华 ;

白涛 ;

吴炬 ;

上官倩芡 .

中国专利 :CN1654393A ,2005-08-17

[7]

玻璃基片表面磷酸基硅烷－稀土纳米薄膜的制备方法 [P].

程先华 ;

顾勤林 ;

白涛 ;

蒋喆 .

中国专利 :CN1830857A ,2006-09-13

[8]

一种氮化钛/氮化铝/镍纳米多层薄膜的制备方法 [P].

贺春林 ;

张金林 ;

王建明 ;

刘岩 ;

马国峰 ;

李海松 ;

娄德元 ;

杨雪飞 ;

白莹莹 ;

才庆魁 .

中国专利 :CN102337508A ,2012-02-01

[9]

玻璃基片表面制备磺酸基硅烷－稀土纳米复合薄膜的方法 [P].

程先华 ;

白涛 ;

吴炬 ;

上官倩芡 .

中国专利 :CN1263697C ,2005-08-17

[10]

氮化钛薄膜的制备方法 [P].

樊慧庆 ;

董广志 ;

朱养妮 ;

江新标 .

中国专利 :CN104928656A ,2015-09-23

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